TITLE

セルフセンシングによる圧電素子の線形駆動　　電流漏れの改善と駆動特性

E.TITLE

Ｌｉｎｅａｒ　Ｄｒｉｖｅ　ｏｆ　Ｐｉｅｚｏｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ａｃｔｕａｔｏｒｓ　ｗｉｔｈ　Ｓｅｌｆ‐ｓｅｎｓｉｎｇ　Ｔｅｃｈｎｉｑｕｅ．　Ｅｆｆｅｃｔ　ｏｎ　Ｉｍｐｒｏｖｅｍｅｎｔ　ｏｆ　Ｅｌｅｃｔｒｉｃ　Ｌｅａｋａｇｅ．

著者

ＪＩＡＮＧ　Ｚ，田中真美，長南征二（東北大）；山口洋（東北大　大学院）；布田良明（トーキン）

発表誌と
発行年

電磁力関連のダイナミックスシンポジウム講演論文集　ＶＯＬ．１０ｔｈ ＰＡＧＥ．４８７‐４９０ （１９９８）

要旨

　圧電素子のヒステリシス特性の補償法としては出力変位のフィードバック法が一般的であるが，これにはシステムの複雑化や応答速度の劣化が問題となる。その他各種方法が工夫されてはいるが，それぞれに問題を抱えている。一方，圧電素子をアクチュエータとして用いながら，センサ素子としての電圧を抽出する回路をＤｏｓｃｈらが研究している。この回路はセルフセンシング回路と呼ばれており，これを利用した線形駆動が可能であると思われる。そこでまず，セルフセンシング線形補償駆動法を検証し，次に繰返し駆動特性及び変位ドリフト特性を改善するための方法を提案し，その有効性を実験により検証した。